Разгадка.

[solar-front.livejournal.com]

Выложенная ранее картинка это многокамерная вакуумная установка для осаждения тонкопленочного кремния методом HW-CVD.
Очень многие были близки к разгадке! Хочу отметить таких читателей как:
"Это ваккумная камера" сообщили: smthng_strange, dimorlus, ll_ovod_ll
"для получения полупроводников, кремния": kobold_wizard
Пирометр распознали: humanoid_liv,cyfir
СVD распознали: korshak_v, twi1ightsparkle
Странно, что никто не подумал на простой испаритель в вакууме.

К сожалению, никто не распознал HW-CVD, хотя в разделе CVD на вики HW-CVD присутсвует. Подсказка была: пирометр. Никто не отметил старые, добрые турбики (турбомолекулярные насосы). Они внизу, вниз люди не смотрят...

Но все равно, я думаю результат отличный.

теперь разгадка:


Эта "малышка" служила верой и правдой. Не имела никакого автоматического управления (всё в ручную) и лаборатория распалась в 2005 году. Надеюсь, что камеры еще работают под Манхаймом. На фото видно три камеры осаждения тонкопленочного кремния. Слева: донор-легирование, справа- не легированный слой с in-situ измерением (эллипсометр) и по центру: акцептор-легирование.
Температура 2030 С это температура отжига в камере танталовой нити, чтобы избавиться от силицидов.




CVD с горячей нитью — также известен как каталитический CVD (HW-CVD или Cat-CVD). Использует горячий носитель для ускорения реакции газов.
Проще говоря: камеру откачивают, напускают некий газ, как в лампочке раскаляют металическую нить-спираль-проволку. Молекулы газа от температуры расщепляются. Ионов нет (почти). Весь этот "супчик" взаимодействует со всем до чего "долетает".
Метод очень простой и "дешевый".

Я часто слышал от немцев, что этот метод изобрели мы, русские. Был удивлен. Но никаких следов в интернете этого не нашел! Помню лишь картинки 30 летней давности где силан разлагался при помощи раскаленной фольги:




Из патента:Wiesmann, Method of producing hydrogenated amorphous silicon film. 2.12.1980 года.

Что получают таким методом? Различные пленки. Пленки на основе кремния, MEMS, алмазоподобные, упрочняющие покрытия (по-немецки звучит классно: "диаманттехнологи").

Comments

[ranvish.livejournal.com]

Это отого что нашему человеку не придет в голову турбик горизонтально повернуть)

[solar-front.livejournal.com]

?? а как они стоят? В Вас? Помоему его повернуть по другому нельзя. Намногих турбиках даже наклейки делают: мол так не ставить.

[kobold-wizard.livejournal.com]

Турбик чаще всего вертикально ставили. Так с радиальными подшипниками проще - на них нагрузка почти нулевая, а осевой не так капризен к высоким оборотам. Да и идеологически, мне кажется, так сложилось: дифф.насос ведь лишь вертикально работает(при стандартной конструкции).
Современные однороторные турбики уже можно ставить горизонтально в силу более совершенных опор: электромагнитных и керамических.

[solar-front.livejournal.com]

Не совсем понимаю о чем мы. Вертикально- означает что входное отверстие турбика направлено вверх? Горизонтально- отверстие горизонтально?
Там на фото такая "чебурашка" по центру насос а по бокам два цилиндра с кулерами. Там этот довольно старый насос использовался как в направлении вверх так и в бок. Такой насос был и в СССР - поставлялся с установками лейбольд-хераеус ( покрайней мере я такой насос на них видел) .

[kobold-wizard.livejournal.com]

Ось ротора вертикально или горизонтально. По выходному патрубку определять не очень корректно, ибо бывают/ли двухроторные турбики. Теперь вижу что на фото насос вертикально, просто насос с кулерами не встречал. Вполне допускаю их существование, когда нет охоты подводить к насосу воду.

[ranvish.livejournal.com]

я как раз об этом)

[ranvish.livejournal.com]

так это заглушка что ли-то на что указывает линия?
как это.. "не узнаю вас в гриме" - в смысле с обвесом)

[solar-front.livejournal.com]

Да это пластиковая заглушка (крест), не помню уже точно, но кажется ее надо открутить, чтобы шприцом масло залить.