Разгадка.

[solar-front.livejournal.com]

Выложенная ранее картинка это многокамерная вакуумная установка для осаждения тонкопленочного кремния методом HW-CVD.
Очень многие были близки к разгадке! Хочу отметить таких читателей как:
"Это ваккумная камера" сообщили: smthng_strange, dimorlus, ll_ovod_ll
"для получения полупроводников, кремния": kobold_wizard
Пирометр распознали: humanoid_liv,cyfir
СVD распознали: korshak_v, twi1ightsparkle
Странно, что никто не подумал на простой испаритель в вакууме.

К сожалению, никто не распознал HW-CVD, хотя в разделе CVD на вики HW-CVD присутсвует. Подсказка была: пирометр. Никто не отметил старые, добрые турбики (турбомолекулярные насосы). Они внизу, вниз люди не смотрят...

Но все равно, я думаю результат отличный.

теперь разгадка:


Эта "малышка" служила верой и правдой. Не имела никакого автоматического управления (всё в ручную) и лаборатория распалась в 2005 году. Надеюсь, что камеры еще работают под Манхаймом. На фото видно три камеры осаждения тонкопленочного кремния. Слева: донор-легирование, справа- не легированный слой с in-situ измерением (эллипсометр) и по центру: акцептор-легирование.
Температура 2030 С это температура отжига в камере танталовой нити, чтобы избавиться от силицидов.




CVD с горячей нитью — также известен как каталитический CVD (HW-CVD или Cat-CVD). Использует горячий носитель для ускорения реакции газов.
Проще говоря: камеру откачивают, напускают некий газ, как в лампочке раскаляют металическую нить-спираль-проволку. Молекулы газа от температуры расщепляются. Ионов нет (почти). Весь этот "супчик" взаимодействует со всем до чего "долетает".
Метод очень простой и "дешевый".

Я часто слышал от немцев, что этот метод изобрели мы, русские. Был удивлен. Но никаких следов в интернете этого не нашел! Помню лишь картинки 30 летней давности где силан разлагался при помощи раскаленной фольги:




Из патента:Wiesmann, Method of producing hydrogenated amorphous silicon film. 2.12.1980 года.

Что получают таким методом? Различные пленки. Пленки на основе кремния, MEMS, алмазоподобные, упрочняющие покрытия (по-немецки звучит классно: "диаманттехнологи").

Comments

[print-design.livejournal.com]

У отца на кафедре полупроводниковых приборов в МЭИ было что-то похожее.
Понадеялся на свою память, не стал спрашивать у него точное название и назначение, и "стрельнул с бедра". (http://engineering-ru.livejournal.com/57802.html?thread=1841098#t1841098)
Сам я не по этому профилю пошёл, поэтому о физике процессов в такой камере имею весьма поверхностно представление

[solar-front.livejournal.com]

да, этож не тест на интеллект. Развлечение.

[twi1ightsparkle.livejournal.com]

twi1ightsparkle, с вашего разрешения. если мне не изменяет память, в девяностых нас такому методу не учили.

исправил

[solar-front.livejournal.com]

учить может и не учили, но в литературе это было. Патент США 80 года переведнный на русский. Я картинку сканировал из публикации Краснопевцева из какого-то старого журнала о полупроводниках.

[mechanismone.livejournal.com]

Ха, так я правильно ответил. :)

[kobold-wizard.livejournal.com]

Что вакуумная система - это было очевидно.С процессом - имхо тут только по побочным данным можно было догадаться. Те же углеродсодержащие покрытия при CVD тоже требуют высоких температур (сам не работал, но схемы видел).
Мы осаждали только SiOx методом ICP-PECVD.

[solar-front.livejournal.com]

при ПХО камеры не так выглядят (при высокой температуре- охлаждение надо).
С ICP-PECVD всегда матчбокс рядом.

[kobold-wizard.livejournal.com]

я это к тому, что с подобной технологией не работал.

[ranvish.livejournal.com]

Это отого что нашему человеку не придет в голову турбик горизонтально повернуть)

[solar-front.livejournal.com]

?? а как они стоят? В Вас? Помоему его повернуть по другому нельзя. Намногих турбиках даже наклейки делают: мол так не ставить.

[kobold-wizard.livejournal.com]

Турбик чаще всего вертикально ставили. Так с радиальными подшипниками проще - на них нагрузка почти нулевая, а осевой не так капризен к высоким оборотам. Да и идеологически, мне кажется, так сложилось: дифф.насос ведь лишь вертикально работает(при стандартной конструкции).
Современные однороторные турбики уже можно ставить горизонтально в силу более совершенных опор: электромагнитных и керамических.

[solar-front.livejournal.com]

Не совсем понимаю о чем мы. Вертикально- означает что входное отверстие турбика направлено вверх? Горизонтально- отверстие горизонтально?
Там на фото такая "чебурашка" по центру насос а по бокам два цилиндра с кулерами. Там этот довольно старый насос использовался как в направлении вверх так и в бок. Такой насос был и в СССР - поставлялся с установками лейбольд-хераеус ( покрайней мере я такой насос на них видел) .

[kobold-wizard.livejournal.com]

Ось ротора вертикально или горизонтально. По выходному патрубку определять не очень корректно, ибо бывают/ли двухроторные турбики. Теперь вижу что на фото насос вертикально, просто насос с кулерами не встречал. Вполне допускаю их существование, когда нет охоты подводить к насосу воду.

[ranvish.livejournal.com]

я как раз об этом)

[ranvish.livejournal.com]

так это заглушка что ли-то на что указывает линия?
как это.. "не узнаю вас в гриме" - в смысле с обвесом)

[solar-front.livejournal.com]

Да это пластиковая заглушка (крест), не помню уже точно, но кажется ее надо открутить, чтобы шприцом масло залить.