Эллипсомеры всех стран - объединяйтесь!

[solar-front.livejournal.com]

Эллипсометр.
Не надо пугаться этого слова. Это прибор который по отражению света и при помощи математики позволяет узнать об изучаемом объекте массу полезного. Тонкие пленнки, микроструктуры, шероховатость, однородность слоев, морфология, анизотропия, кристалличность и многое другое сегодня охватывает этот прибор.

Пару десятилетий назад это был узкоспециальный инструмент. Сегодня эллпсометр сильно распространился: медики, оптики, механики, материаловеды и прочие всё чаще им пользуются.

В последние годы быстро развивается (благодаря доступности мощных компьютеров) измерение 3D структур. Например:оценка профилей травления в микроэлектроник, исследование прочих микроструктур и машин, матриц и т.п. впечатляют.

Меня потрясли (честно) возможностями данного аппарата: он "фотографирует" поверхность, делает измерение в конкретном участке, автоматически под разными углами! Может быть кто юзал его уже? Что это за фирма?

Кто может сказать насколько лучше-хуже этот чем Woollam M2000?

Comments

[solar-front.livejournal.com]

эллипсомеТр это объект. А эллипсомер - игра слов. Речь идет о тех кто за ними сидит.

"и он измеряет поляризацию света" - он не измеряет поляризацию если быть точным, а измеряет состояние поляризации отраженного светового пучка.
Слово "поляризация" намеренно опущена для упрощения в посте.

"а вот имея эти данные можно зная показатель преломления материала, рассчитать показатель преломления плёнки "

Это в ВГУ для студентов.
Если материалы прозрачные я могу это сделать без знания показателя преломления материала.

Могу сказать как однородна пленка и вдоль подложки и вдоль направления роста, есть ли в ней поры, шероховатость, сколько пленок, конфигурацию, их оптические свойства. Не зная ничего. Просто принесли стекляху. Можно и не прозрачный обхект, металлы, жидкие кристаллы и пп конечно, органику.

[heno-o-o.livejournal.com]

- эллипсометрист
- тут уравнение с 3 неизвестными (показатель преломления подложки, показатель преломления плёнки, толщина плёнки), с 2 задаваемыми параметрами - длинна волны луча, угол падения луча. Измеряемая величина - угол вращения поляризации света. Таким образом, если для одной точки провести 3 измерения при разных углах или разных источниках лазерного излучения (что гораздо сложнее), то можно решить эту систему уравнений.

Кто ж спорит, что прибор полезный, в этой рекламе вообще "космос", по сравнению с тем, на чём я работал. Но даже старый эллипсометр, 60х годов, с источником света в виде зеркальца отражающего солнечный луч и одним поляризационным фильтром, позволял измерить всё то же самое.

[solar-front.livejournal.com]

- игра слов, Шютка.


"Таким образом, если для одной точки провести 3 измерения при разных углах..., то можно решить эту систему уравнений." - вот видите. Очень рад.


"позволял измерить всё то же самое."

Глупцы они, эти немцы: чет крутят, наверчивают, пианино какие-то механические строят когда "левша" зеркальцем покрутил и "всё то же самое".))

Вы никогда не задумывались почему в России нет "кремниевой долины", интела, а есть "ангстром" из бу линии? "солнышком" и зеркальцем оно конечно можно. На кремнии микроны мерять. А ежели не на кремнии, и не микроны...

[heno-o-o.livejournal.com]

Я не говорю, что такой аппарат - это зло, боже упаси. Аппарат крут:
1) у него 3 светофильтра при одном лазере - мне это непонятно, там 3 длинны волны или это какая то рекламная уловка?
2) он автоматически меняет угол и измеряет поляризацию.
3) у него широкое пятно измерений с коррекцией ошибок.

На кремние таблицы цветов побежалости ещё 50 годов, давали ошибку меньшую чем эллипсометр и микроны это много. И если речь о кремнии то микроны - это много, обычно это 30-150 нм.
И честно говоря, я не понимаю "вайп" по поводу б/ушности ангстремовской линии.

[solar-front.livejournal.com]

"давали ошибку меньшую "

Насмешили. Я меряю с точностью до нм.
Ни один технолог на глаз не сделает и на порядок больше. Особенно если пленка толстая и цвета уже не яркие.
Более того: пленка от реактора к реактору и от процесса к процессу имеет слегка иные оптические свойства. Где грязнее, где пористее, где неоднороднее. И от этого всю эту таблицу цветов можно бросать в урну.

Именно это я имел ввиду, когда писал про ангстрем: мало спецов, мало понимания- мало результата. Мало денег. Результат - отставание.

[chapai67.livejournal.com]

результат ,в виде кремниевой долины и прочих интелов - от приборов не зависит совсем. Там обратная зависимость.

[solar-front.livejournal.com]

Т.е. меньше приборов: тоньше производство.
На говне и палках. Почему же африка в стороне?? )))

[solar-front.livejournal.com]

Предыдущий комментатор пытался убедить, что свои кобылы лучше заморских бл.

Прошу прошения - я попытался обхяснить доступными Вам метафорами.

[chapai67.livejournal.com]

а что вас смущает? В электронике, особенно метрологии такое сплошь и рядом.

можно поглядеть как выглядят стандарты напряжения или миллиомных сопротивлений. Или прецизионные вольтметры, на которых уже многие десятки лет только шильдики меняют.

Доходит до смешного - у купленного на ибее старого спектроанализатора HP 3562a разрешение дисплейного модуля выше чем у любого современного монитора.

[solar-front.livejournal.com]

такой замечательный спектроанализатор. странно, почему его не продолжают производить? А почему Вы пишете сюда, а не в блокнотик? Небось и десплей плоский, дюймов 20-24, а не десятилетний сони для дизайнеров? И машина не такая надежная и не убиваяемая как "копейка"? И вольтметр небось не старый, стрелочный -удобный, а неудобный, глупый цифровой-китайский-карманный дома предпочитаете?

[chapai67.livejournal.com]

> Небось и десплей плоский, дюймов 20-24,
>, а не десятилетний сони для дизайнеров?
если бы мой профессиональный 25" сони монитор на специальной серии тринитронов, не был таким тяжелым - пользовался бы им. У старой техники есть свои минусы, да. Вес - один из них.

>И машина не такая надежная и не убиваяемая как "копейка"?
когда стану чуть побогаче, то куплю себе мустанга 60х годов, да. До сих пор попадаются хорошие экземпляры.

>И вольтметр небось не старый, стрелочный -удобный, а неудобный, глупый цифровой-китайский-карманный дома предпочитаете?

Тут немного пальцем в небо. :-) Китайского нам не нать. И не из внутреннего пафосу.
цифровые не китайцы делать начали, отнюдь.Да и хороший стрелочный RMS вольтметр удобнее цифрового в ряде измерений.
Я ведь не зря упомянул хьюлетовский анализатор который может с по сути с постоянки, что то 20uHz и в котором FFT делается секционными AMD процессорами, на специальном FFT ассемблере c очень хорошей точностью.
Всякие китайские поделки так не могут. Да и нету их.
Как нет измерителей нелинейных искажений с генераторами до тысячных процента, wow/flutter и кучи всего.

В оригинальных ценах 80х, только осциллограф от tektronix 2465bdm стоил, что то около 15 тысяч, в 87-89. можно привести к нонешним деньгам. 3562A был что то около 20k а может и больше.
И сейчас он стоит больше китайского осциллографа, всего такого цифрового.
Как и большинство хорошего старого оборудования.

Но я много позволить себе не могу, да и потребност иу меня скромны в части частот. Гигагерцы нам не надобны.

[solar-front.livejournal.com]

1) я прав.
2) я прав.
3) ну, что дома дежим HP? Я ведь про домашний... Или дома только плоскогубцы с молотком? "Гигагерцы нам не надобны." - следовательно: я прав.

"И сейчас он стоит больше китайского осциллографа, всего такого цифрового."

Он так стоит не благодаря тому, что старый, а потому, что может то, чего не может китайский. Это как сравнивать старый мерседес с новым велосипедом: бессмысленной занятие которое производит впечатление на девочек. Я не совсем понимаю зачем вы это пишете: думаете кроме Вас осцилами не пользуются?

[solar-front.livejournal.com]

И как это согласуется с "результат ,в виде кремниевой долины и прочих интелов - от приборов не зависит совсем"?

[chapai67.livejournal.com]

У нас же две ветки - про старинные приборы и их важность в создании долин.

Я же в самом начале пояснил. Все эти приборы - порождение спроса, а тот синергетически порождение бизнесов которым это все востребовано. И которые за это платили (ибо было зачем и чем) - и вот оно и родилось и развилось. А не наоборот , не надо путать причину и следствие.

То есть для того чтоб получилась долина - надо сначала построить другую страну:-) А долина сама родится, вместе с приборами - если сможет. И не факт что сумеет сконкурировать.

А если просто занести приборов - то будет этот, ну как там называлась последняя наноинициатива, с нулевым выхлопом.

[solar-front.livejournal.com]

Про долины я согласен. Хотя считаю это связанным с приборами: как кольцо чтобы выросла долина нужны не только бизнесмены, но и работающие. Эти работающие растут не в джунглях.

Про старинные приборы: странно утверждать, что жллпсометр не нужен когда технологи может мерять толщину SIO2 по цвету пластины. Странно слышать, что всё современное это гавно потому, что в новом старый хард обвешан новыми процессорами, а часто и того нет. Вес, цена, запоминание и интерфейсы это тоже характеристики, да. Почти всё что меряется новыми меряется старыми - вопрос в трудозатратах часто.

Померять 5 В это одно, а померять разницу в 5В на 10кВ, с записью во времени не на бумажке лаборанткой это другое.

[chapai67.livejournal.com]

>Эти работающие растут не в джунглях.

Пффф.. :-))) ну насмешили. Как инженер из этой самой долины, уверяю вас - большинство работающих именно растут в джунглях. Как будет нужно - набегают.

> Почти всё что меряется новыми меряется старыми - вопрос в трудозатратах часто.

ну вот, вы видите. А кажется другому оппоненту отрицали.

Часто выигрыш в производительности, удобстве, автоматизации, скорости получения результата и возможность использования персоналом без сложных навыков. Плюс цена - все же оно становится дешевле при развитии возможностей, хотя и не в топовом. У топового сложнее ценообразование и воплощение.

Собственно большинство фундаментальных измерений сделано тогда, когда никаких процессоров не было, а были вообще всякие зеркальцы и проволочки, ну и мозги.

>Померять 5 В это одно, а померять разницу в 5В на 10кВ, с записью во времени не на бумажке лаборанткой это другое.

высокие напряжения давно не мерял. но какая разница? просто щуп другой, плюс специфика от пробоя - и меряем те же пять вольт.
Пишем на бумажную ленту :-)

[solar-front.livejournal.com]

Пишите, работайте. Очень рад за Вас.