http://solar-front.livejournal.com/ (![[identity profile]](https://www.dreamwidth.org/img/silk/identity/openid.png)
solar-front.livejournal.com) wrote in ![[community profile]](https://www.dreamwidth.org/img/silk/identity/community.png)
engineering_ru2016-10-12 01:04 pm
solar-front.livejournal.com) wrote in engineering_ru2016-10-12 01:04 pm
Entry tags:
Эллипсомеры всех стран - объединяйтесь!
Эллипсометр.
Не надо пугаться этого слова. Это прибор который по отражению света и при помощи математики позволяет узнать об изучаемом объекте массу полезного. Тонкие пленнки, микроструктуры, шероховатость, однородность слоев, морфология, анизотропия, кристалличность и многое другое сегодня охватывает этот прибор.
Пару десятилетий назад это был узкоспециальный инструмент. Сегодня эллпсометр сильно распространился: медики, оптики, механики, материаловеды и прочие всё чаще им пользуются.
В последние годы быстро развивается (благодаря доступности мощных компьютеров) измерение 3D структур. Например:оценка профилей травления в микроэлектроник, исследование прочих микроструктур и машин, матриц и т.п. впечатляют.
Меня потрясли (честно) возможностями данного аппарата: он "фотографирует" поверхность, делает измерение в конкретном участке, автоматически под разными углами! Может быть кто юзал его уже? Что это за фирма?
Кто может сказать насколько лучше-хуже этот чем Woollam M2000?
Не надо пугаться этого слова. Это прибор который по отражению света и при помощи математики позволяет узнать об изучаемом объекте массу полезного. Тонкие пленнки, микроструктуры, шероховатость, однородность слоев, морфология, анизотропия, кристалличность и многое другое сегодня охватывает этот прибор.
Пару десятилетий назад это был узкоспециальный инструмент. Сегодня эллпсометр сильно распространился: медики, оптики, механики, материаловеды и прочие всё чаще им пользуются.
В последние годы быстро развивается (благодаря доступности мощных компьютеров) измерение 3D структур. Например:оценка профилей травления в микроэлектроник, исследование прочих микроструктур и машин, матриц и т.п. впечатляют.
Меня потрясли (честно) возможностями данного аппарата: он "фотографирует" поверхность, делает измерение в конкретном участке, автоматически под разными углами! Может быть кто юзал его уже? Что это за фирма?
Кто может сказать насколько лучше-хуже этот чем Woollam M2000?
no subject
и он измеряет поляризацию света, а вот имея эти данные можно зная показатель преломления материала, рассчитать показатель преломления плёнки и её толщину (это если можно изменять угол луча или его длину волны).
Когда их не было то толщину плёнок измеряли по цветам побежалости.
Вещь специфичная, на кафедре неорганической химиии ВГУ, я 4 года разными эллипсометрами измерял толщины оксидных плёнок на InP и GaAs.
no subject
"и он измеряет поляризацию света" - он не измеряет поляризацию если быть точным, а измеряет состояние поляризации отраженного светового пучка.
Слово "поляризация" намеренно опущена для упрощения в посте.
"а вот имея эти данные можно зная показатель преломления материала, рассчитать показатель преломления плёнки "
Это в ВГУ для студентов.
Если материалы прозрачные я могу это сделать без знания показателя преломления материала.
Могу сказать как однородна пленка и вдоль подложки и вдоль направления роста, есть ли в ней поры, шероховатость, сколько пленок, конфигурацию, их оптические свойства. Не зная ничего. Просто принесли стекляху. Можно и не прозрачный обхект, металлы, жидкие кристаллы и пп конечно, органику.
no subject
- тут уравнение с 3 неизвестными (показатель преломления подложки, показатель преломления плёнки, толщина плёнки), с 2 задаваемыми параметрами - длинна волны луча, угол падения луча. Измеряемая величина - угол вращения поляризации света. Таким образом, если для одной точки провести 3 измерения при разных углах или разных источниках лазерного излучения (что гораздо сложнее), то можно решить эту систему уравнений.
Кто ж спорит, что прибор полезный, в этой рекламе вообще "космос", по сравнению с тем, на чём я работал. Но даже старый эллипсометр, 60х годов, с источником света в виде зеркальца отражающего солнечный луч и одним поляризационным фильтром, позволял измерить всё то же самое.
no subject
"Таким образом, если для одной точки провести 3 измерения при разных углах..., то можно решить эту систему уравнений." - вот видите. Очень рад.
"позволял измерить всё то же самое."
Глупцы они, эти немцы: чет крутят, наверчивают, пианино какие-то механические строят когда "левша" зеркальцем покрутил и "всё то же самое".))
Вы никогда не задумывались почему в России нет "кремниевой долины", интела, а есть "ангстром" из бу линии? "солнышком" и зеркальцем оно конечно можно. На кремнии микроны мерять. А ежели не на кремнии, и не микроны...
no subject
1) у него 3 светофильтра при одном лазере - мне это непонятно, там 3 длинны волны или это какая то рекламная уловка?
2) он автоматически меняет угол и измеряет поляризацию.
3) у него широкое пятно измерений с коррекцией ошибок.
На кремние таблицы цветов побежалости ещё 50 годов, давали ошибку меньшую чем эллипсометр и микроны это много. И если речь о кремнии то микроны - это много, обычно это 30-150 нм.
И честно говоря, я не понимаю "вайп" по поводу б/ушности ангстремовской линии.
no subject
Насмешили. Я меряю с точностью до нм.
Ни один технолог на глаз не сделает и на порядок больше. Особенно если пленка толстая и цвета уже не яркие.
Более того: пленка от реактора к реактору и от процесса к процессу имеет слегка иные оптические свойства. Где грязнее, где пористее, где неоднороднее. И от этого всю эту таблицу цветов можно бросать в урну.
Именно это я имел ввиду, когда писал про ангстрем: мало спецов, мало понимания- мало результата. Мало денег. Результат - отставание.
no subject
no subject
На говне и палках. Почему же африка в стороне?? )))
no subject
Прошу прошения - я попытался обхяснить доступными Вам метафорами.
no subject
можно поглядеть как выглядят стандарты напряжения или миллиомных сопротивлений. Или прецизионные вольтметры, на которых уже многие десятки лет только шильдики меняют.
Доходит до смешного - у купленного на ибее старого спектроанализатора HP 3562a разрешение дисплейного модуля выше чем у любого современного монитора.
no subject
no subject
>, а не десятилетний сони для дизайнеров?
если бы мой профессиональный 25" сони монитор на специальной серии тринитронов, не был таким тяжелым - пользовался бы им. У старой техники есть свои минусы, да. Вес - один из них.
>И машина не такая надежная и не убиваяемая как "копейка"?
когда стану чуть побогаче, то куплю себе мустанга 60х годов, да. До сих пор попадаются хорошие экземпляры.
>И вольтметр небось не старый, стрелочный -удобный, а неудобный, глупый цифровой-китайский-карманный дома предпочитаете?
Тут немного пальцем в небо. :-) Китайского нам не нать. И не из внутреннего пафосу.
цифровые не китайцы делать начали, отнюдь.Да и хороший стрелочный RMS вольтметр удобнее цифрового в ряде измерений.
Я ведь не зря упомянул хьюлетовский анализатор который может с по сути с постоянки, что то 20uHz и в котором FFT делается секционными AMD процессорами, на специальном FFT ассемблере c очень хорошей точностью.
Всякие китайские поделки так не могут. Да и нету их.
Как нет измерителей нелинейных искажений с генераторами до тысячных процента, wow/flutter и кучи всего.
В оригинальных ценах 80х, только осциллограф от tektronix 2465bdm стоил, что то около 15 тысяч, в 87-89. можно привести к нонешним деньгам. 3562A был что то около 20k а может и больше.
И сейчас он стоит больше китайского осциллографа, всего такого цифрового.
Как и большинство хорошего старого оборудования.
Но я много позволить себе не могу, да и потребност иу меня скромны в части частот. Гигагерцы нам не надобны.
no subject
2) я прав.
3) ну, что дома дежим HP? Я ведь про домашний... Или дома только плоскогубцы с молотком? "Гигагерцы нам не надобны." - следовательно: я прав.
"И сейчас он стоит больше китайского осциллографа, всего такого цифрового."
Он так стоит не благодаря тому, что старый, а потому, что может то, чего не может китайский. Это как сравнивать старый мерседес с новым велосипедом: бессмысленной занятие которое производит впечатление на девочек. Я не совсем понимаю зачем вы это пишете: думаете кроме Вас осцилами не пользуются?
no subject
no subject
Я же в самом начале пояснил. Все эти приборы - порождение спроса, а тот синергетически порождение бизнесов которым это все востребовано. И которые за это платили (ибо было зачем и чем) - и вот оно и родилось и развилось. А не наоборот , не надо путать причину и следствие.
То есть для того чтоб получилась долина - надо сначала построить другую страну:-) А долина сама родится, вместе с приборами - если сможет. И не факт что сумеет сконкурировать.
А если просто занести приборов - то будет этот, ну как там называлась последняя наноинициатива, с нулевым выхлопом.
no subject
Про старинные приборы: странно утверждать, что жллпсометр не нужен когда технологи может мерять толщину SIO2 по цвету пластины. Странно слышать, что всё современное это гавно потому, что в новом старый хард обвешан новыми процессорами, а часто и того нет. Вес, цена, запоминание и интерфейсы это тоже характеристики, да. Почти всё что меряется новыми меряется старыми - вопрос в трудозатратах часто.
Померять 5 В это одно, а померять разницу в 5В на 10кВ, с записью во времени не на бумажке лаборанткой это другое.
no subject
Пффф.. :-))) ну насмешили. Как инженер из этой самой долины, уверяю вас - большинство работающих именно растут в джунглях. Как будет нужно - набегают.
> Почти всё что меряется новыми меряется старыми - вопрос в трудозатратах часто.
ну вот, вы видите. А кажется другому оппоненту отрицали.
Часто выигрыш в производительности, удобстве, автоматизации, скорости получения результата и возможность использования персоналом без сложных навыков. Плюс цена - все же оно становится дешевле при развитии возможностей, хотя и не в топовом. У топового сложнее ценообразование и воплощение.
Собственно большинство фундаментальных измерений сделано тогда, когда никаких процессоров не было, а были вообще всякие зеркальцы и проволочки, ну и мозги.
>Померять 5 В это одно, а померять разницу в 5В на 10кВ, с записью во времени не на бумажке лаборанткой это другое.
высокие напряжения давно не мерял. но какая разница? просто щуп другой, плюс специфика от пробоя - и меряем те же пять вольт.
Пишем на бумажную ленту :-)
no subject
no subject