Ну разные камеры. Но обычно больше 10 литров. Бывают размером с пару контейнеров. Производство для напыления и осаждения в области оптики, дисплеев, окон, упаковка и прочая.

Запчасти только с фирменным лэйблом и гарантией. Ну, имя вы хорошо знаете:-) эта фирма много еще при советах поодавала. Потом ее расчленили в 90х - стало несколько.